
在细密重大的半导体封装天下里,一颗细小的污染物就可能影响芯片的可靠性和良率。怎样在关jian工序前彻底清洁外貌,提升jian合与粘接力?安动半导体 VP-10S片式真空等离子洗濯机,凭jie其创新的双工位设计、晶圆级真空密封腔体与卓越性能,成为封装产线上不行或缺的“清洁专家”。一起来看看它的硬核实力!

它是什么?解决什胏i侍?
产物定位:专为半导体封装工艺设计的真空等离子洗濯装备。
焦点使命:在引线框架点胶装片、芯片jian合(打线)、塑封等关jian工序前,对工件(引线框架、芯片、基板等)举行外貌洗濯和活化。
价值体现:强力去除污染物:扫除有机物、氧化物等影响粘接的“隐形杀手”。
显著提升外貌活性:使质料外貌从“疏远”变得“亲密”,极大zeng强粘贴(Die Attach)和jian合(Wire Bonding)的强度与可靠性。
杜绝二ci污染:阻止人工长时间接触导致的污染。
掩护芯片清静:相比长时间批量洗濯,片式处置赏罚更快速精准,镌汰潜在损伤风险。
焦点优势:高效、稳固、智能、无邪
VP-10S 凭什么成为封装产线的优选?
这五大亮点是关jian:
双工位效率革命
离别期待:高度集成双下电极平台,一个工位举行等离子洗濯时,另一个工位可同时上下料准备。
无缝衔接:洗濯完成瞬间,待处置赏罚工位自动进入,洗濯工位移出,循环交替。大幅节约产物传输时间,提升整体产能!
晶圆级真空密封腔体 & 稳固等离子
腔体结实可靠:接纳优质铝合金打造,配合高密封性设计,确保真空情形恒久稳固。
真空精准监控:集成专业半导体真空计,实时精准监测腔体真空度。
匀称高效洗濯:优化的腔体结构与晶圆级气路设计,配合稳固的13.56MHz RF射频电源(1000W),发生高密度、高匀称性等离子体。短时间处置赏罚即可到达优异的洗濯和活化效果。
高度自动化与智能防错
操作轻盈:IPC工业电脑控制,配备可视化操作界面(发动画模拟),实现一jian式操作。
自动运行:集成自动取料、传输、送料功效,最大限度镌汰人工干预,防止二ci污染。
智能防呆:
推料防卡: 推杆自带过载感应与弹簧掩护。一旦推料受力异常(卡料),连忙自动报警、退回清静位置,待操作yuan确认清静后恢复。保障装备与产物清静。
料盒检测: 自动检测料盒有无,缺失时报警提醒。
强盛的软件与扩展性
周全掩护:软件提供周全的运行掩护、报警及异常提醒功效。
未纁i抻牵可扩展支持SECS/GEM通讯协议,轻松接入半导体工厂自动化产线系统(MES)。
应用chang景:提升关jian工序良率的利器
VP-10S在半导体封装中饰演着至关主要的角色:

安动半导体VP-10S真空等离子洗濯机,以双工位高效运作、晶圆级真空密封腔体、智能防错设计、普遍兼容适配为焦点优势,为半导体封装前道工序提供卓越的外貌处置赏罚解决方案,是提升产物良率、可靠性和生产效率的可靠同伴!



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