一、等离子先容
什么是等离子？
等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，即是包罗离子电子与中性粒子或部门游离的气体。
物质由分子组成，分子由原子组成，原子由带正电的原子核和围绕它的、带负电的电子组成。对气体施加足够的能量，使外层电子挣脱原子核的约束成为自由电子，形成等离子体。
生涯中有哪些常见的等离子征象？
二、等离子洗濯手艺
等离子洗濯原理
1、化学反映
将氧气、氢气等反映性气体电离后，将形成高能量和高反映性的等离子体。这些等离子体具备高活性，在与外貌污染物接触时发生化学反映剖析污染物。氧气适合处置赏罚非挥发性有机物（例如助焊剂），氢气适合处置赏罚金属外貌氧化层。
2、物理反映
将氩气等惰性气体电离后，将形成高能量等离子体。以氩离子使用电浆与基板间的电位差，高速撞击基板，以撞击动力溅射掉污染物或将碳氢污染物化学jian裂解，形成气体挥发。因不会发生氧化反映，常应用于洗濯细密电子器件，例如半导体、微电子、晶圆制造等行业。
等离子洗濯的行业应用
等离子行业应用样例：
1、软硬团结板、多层高频板、多层混压板等叠层压合前PI、PTFE等基材外貌粗化：
由于内层板面平滑，层压难题，外貌油污或者指纹很容易导致层压后结协力不足，容易分层，等离子处置赏罚可把外貌异物、氧化膜、指纹、油污等扫除清洁，而且可将外貌凹蚀变粗拙，使结协力获得显著提高，一ban可zeng大10倍以上。
2、化学沉金/电镀金后，SMT前，焊盘外貌清洁：可焊性改良，杜绝虚焊、上锡不良，提高强度和信托性。
等离子洗濯的优势
1、无需干燥：洗濯工具经等离子洗濯之后是干燥的，不需要再经干燥处置赏罚即可送wang下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处置赏罚效率；
2、洗濯更彻底：等离子体的偏向性不强，可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成洗濯使命，因此不需要过多思量被清蟘i锾宓男巫，而且对这些难洗濯部位的洗濯效果与氟利昂洗濯的效果相似甚至更好；
3、不受洗濯质料限制：金属、半导体、氧化物，照旧高分子质料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处置赏罚，特殊适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。
4、改善外貌亲水性：在完成洗濯去污的同时，还可以改善质料本shen的外貌性能，例如提高外貌的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是很是主要的；
5、绿色环保 康健清静：阻止使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，洗濯后不会发生有害污染物。等离子洗濯使得用户可以远离有害溶剂对人体的危险，同时也阻止了湿法洗濯中容易洗坏洗濯工具的问题；
三、德赢等离子洗濯装备
1、常压式等离子洗濯机
ADAPC102-A系列
ADAPC102-A常压等离子洗濯系统普遍适用于质料外貌涂覆、印刷、粘接、焊接、绑定、上胶前的预处置赏罚等。gai系统接纳Anda 公司自主开发的数字控制的等离子发生器电源和特有发现专利二级电离手艺的等离子腔体发生的低温等离子束更充实匀称，喷嘴外延无拉弧烧蚀设计极大地延伸枪嘴使用寿命
?宽规模交流电压输入100-240VAC适用差异国家，地域；
?可编程工艺参数设置（事情频率，功率、气压，电压等）；
?可分体插拔式枪体毗连；
?产物运行低功耗，低ESD，低噪音滋扰；
?自动检测、适配多种规格枪嘴枪体；
?多种控制方式：当地，PLC/IO远程，RS485通讯；
?接纳数字电源手艺，输出纯正弦波电压。
AP-3系列
应用于印刷包装，手机电脑数码，塑胶，玻璃，电子，汽车，医疗，金属等行业，举行局部/整面洗濯，zeng加外貌粘附性。
AP-3系列产物优势&特点：
?专用钢制运动平台，确保运行平稳；
?可设置双头双枪，同时处置赏罚工件正反面；
?可设置等离子旋转喷枪,活化:大幅提高外貌的润湿性能，形成活性的外貌；
?编程方式为手动示教或者jian盘举行在线编程，可储存法式等相关数据；
?在线式轨道设计，可与其他机械在线接驳，轨道可自动调幅；
AP-3P手艺参数
功效设置 | 手艺参数 |
型号 | AP-3P |
形状尺寸(mm) | L=900，W=1300，H=1650 |
重量(kg) | 530 |
控 制 | 工控机+运动控制卡 |
编程方式 | 手动编程 |
运送轨道 | 皮带运送 |
运送高度(mm) | 900±20 |
步进马达运送(m/min) | 2-13 |
X、Y、Z驱动方式 | 伺服马达+滚珠丝杆 |
最大移动速率(mm/s) | 800 |
运行精度(mm) | ±0.02 |
喷枪数目 | 1套 |
喷枪类型 | □旋转头(标配) □尖头 |
事情偏向 | □左至右(标配) □右至左 |
重复精度(mm) | ±0.02 |
有用行程(mm) | X=460，Y=460 |
处置赏罚功率(W) | 500/1000 |
单ci处置赏罚宽度(mm) | 旋转头50，尖头8-10 |
有用处置赏罚高度(mm) | 3-15 |
外理速率(mm/s) | 800(最大) |
通讯端口 | 尺度SMEMA |
输入气压报警 | 菜单+声光报警 |
电源 | AC 200V 50/60Hz |
气压(MPa) | 0.6 |
供气类型 | 压缩空气或氮气 |
总功率(kW) | 2 |
清静尺度 | CE |
2、真空式等离子洗濯机
VP-10S
应用于集成电路封装（引线框架清晰），引线jian合，芯片jian合，EMC封装前后处置赏罚等。另外，VP系列各机型还具备10L，60L，80L，100L，150L等差异容积的真空腔，知足批量处置赏罚&大尺寸产物处置赏罚。
VP-10S产物优势&特点：
?四通道设计，可同时处置赏罚4个产物，提高运行效率，保证处置赏罚产物匀称性，UPH400~550pcs；
?基于德赢案例等离子手艺，设置双下电极，节约收支板时间，大幅提升效率；
?MFC晶圆级专利设计，防止气体走漏引发清静事故；
?腔体高密封专利设计，最高可达5pa以内；
?水滴角＜10°（与清洁外貌材质相关）；
?适用多种产物尺寸及弹夹；
?装备系统PC软件控制，扩展支持SECS/GEM通讯协议；
VP-10S手艺参数：
功效设置 | 手艺参考 | |
装备尺寸 | 长x宽x高(mm) | L=1600，W=1150，H=1700 |
净重(kg) | 1000 | |
装备周边间隙(mm) | 后面600，双方600 | |
腔体 | 容积(L) | 约9 |
通道(条) | 4 | |
下电极(块) | 2(待料功效) | |
上料方式 | 弹夹 | |
顺应产物尺寸(mm) | 宽度：40-100；长度：150-300 | |
电极 | 电极尺寸(mm) | 528x300 |
射频电源 | 尺度功率(kW) | 1 |
频率(MHz) | 13.56 | |
气体控制 | 最多支持三路 | 标配2路，可选配3路 |
控制系统 | 人机界面 | PC+触摸显示屏 |
远程接口 | 通讯 | 选配 |
真空泵 | 可选干泵 | 17CFM |
可选油泵 | 195CFM | |
可选带吹扫功效干泵 | YES | |
氮气吹扫流量(SLM) | 2 | |
抽真空时间(s) | 10-15 | |
破真空时间(s) | 3-4 | |
厂务设施 | 电源 | 三相 AC 380V 50/60Hz 4.55kW(油泵) 三相 AC 380V 50/60Hz 4kW(干泵) |
工艺气体管路尺寸&类型 | 1/4 inch Swagelok | |
工艺气体纯度 | 工业级及以上 | |
工艺气体压力(psig) | 10-20 | |
吹扫气体管路尺寸&类型 | 1/4inch Swagelok | |
吹扫气体纯度 | 工业级及以上 | |
吹扫气体压力(psig) | 15 | |
气动阀门管路尺寸&类型 | 10mm push-in fitting | |
气动气体纯度 | 压缩空气，无油，露点≤7℃，颗粒<5 | |
气动气体压力(psig) | 70-90 | |
压缩空气(mm) | ?8 | |
辅助装备 | 氮气发生器(可选) | 有氮气吹扫功效需求时选配 |
水冷机(可选) | 设置冷却功效电极时选配 | |
氢气工具包(可选) | 使用氢气举行处置赏罚时选配 | |
尾气处置赏罚机(可选) | 含氟气体处置赏罚时的尾气处置赏罚选配 | |
运输 | 总重量(kg) | 1050 |
包装件数 | 1 | |
包装切合SPM15尺度 | YES | |
